西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院郝躍院士團(tuán)隊(duì)張進(jìn)成教授、寧靜副教授在柔性高性能GaN半導(dǎo)體外延材料與器件制備技術(shù)方面得研究取得了突破性進(jìn)展，其研究成果分別發(fā)表在《Small》《ACS Applied Materials & Interfaces》和《ACS Applied Nano Materials》等高水平期刊，并在《Small》及《ACS Applied Nano Materials》期刊上作為封面文章被突出介紹。

　　柔性電子是指經(jīng)扭曲、折疊、拉伸等形狀變化后仍保持原有性能得電子系統(tǒng)，可用作可穿戴設(shè)備、電子皮膚、柔性顯示屏等，具有重大應(yīng)用前景，被阿里巴巴達(dá)摩院列為2021十大科技趨勢(shì)之一。柔性電子發(fā)展得主要瓶頸在于材料，然而當(dāng)前得柔性材料或者由于“柔性”不足容易失效，或者電性能上不如“剛性”半導(dǎo)體。目前主要采用得柔性電子材料主要是有機(jī)材料、二維材料等。如何使傳統(tǒng)半導(dǎo)體如第三代半導(dǎo)體氮化鎵具備柔性同時(shí)保持高性能，是當(dāng)前國際前沿?zé)狳c(diǎn)問題。

　　針對(duì)以上難題，郝躍院士團(tuán)隊(duì)張進(jìn)成教授、寧靜副教授通過對(duì)二維材料基底上氮化鎵薄膜得范德華外延生長(zhǎng)技術(shù)開展深入研究，提出磁控濺射氮化鋁/石墨烯復(fù)合基底以及氧等離子幫助圖形化等新型生長(zhǎng)方法，產(chǎn)出了高質(zhì)量大面積得柔性氮化鎵半導(dǎo)體薄膜制備、高亮度柔性氮化鎵發(fā)光二極管以及柔性自變壓?jiǎn)纹尚畔鬏斚到y(tǒng)等系列創(chuàng)新成果。（通訊員：西安電子科技大學(xué)程珺 廉姝潔）